特許

J-GLOBAL ID：200903015240661791

波面収差補正ミラー

発明者： 廣居 正樹
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-060693
公開番号（公開出願番号）：特開2002-258211
出願日： 2001年03月05日
公開日（公表日）： 2002年09月11日
要約：

【要約】【課題】 波面収差補正ミラーにおいて、駆動電圧の低電圧化、波面収差補正の適正化を図ることを課題とする。【解決手段】 ミラー支持部材(6)にはミラー材(1)がヒンジ(4)を介して付いており、ヒンジ(4)を中心とした回転方向に自由に回転できるようになっている。ミラー部材(1)のミラー面とは反対側の面には、圧電材料(2a)(2b)が設けられている。圧電材料(2a)(2b)にはそれぞれ独立して電圧が印加される。ミラー面はゼロクロス変形して、波面収差補正が適正に行われる。

請求項（抜粋）：

圧電素子によってミラー面を可変する構成であり、且つ、ミラーはヒンジによって支持されている構成としたことを特徴とする波面収差補正ミラー。

IPC (3件)：

G02B 27/09 ,  G02B 7/198 ,  G11B 7/135

FI (3件)：

G11B 7/135 A ,  G02B 27/00 E ,  G02B 7/18 B

Fターム (8件)：

2H043BB05 ,  2H043BC01 ,  5D119AA12 ,  5D119AA23 ,  5D119DA01 ,  5D119DA05 ,  5D119EC01 ,  5D119JA57