特許
J-GLOBAL ID：200903015242257246
走査型露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平木 祐輔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-240828
公開番号（公開出願番号）：特開平10-092717
出願日： 1996年09月11日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：
【要約】【課題】 マスクのパターンを常にベストフォーカス状態で感光基板上の露光領域に走査露光することのできる走査型露光装置を提供する。【解決手段】 走査露光前に、投影光学系23b,23eに対してマスク4と感光基板8を走査させながら、複数の投影光学系の各々の光軸位置でのマスクと感光基板の間の距離を測定する。そして、各投影光学系の光軸位置でのマスクと感光基板の間の距離が各投影光学系の焦点距離に最適に適合した状態となるように、伸縮可能な支点36a〜36cを駆動して感光基板の位置を逐次補正しながら走査露光する。マスクと感光基板の間の距離測定は間欠的に行い、得られた離散的なデータを走査方向に補完して用いる。
請求項（抜粋）：
マスク上に形成された複数の照明領域の像を複数の投影光学系を介して感光基板上の複数の露光フィールドに投影した状態で、前記マスクと前記感光基板とを前記複数の投影光学系に対して同期して走査することにより、前記マスクに形成されたパターンの像を前記感光基板上に走査露光する走査型露光装置において、前記走査露光に先立って、前記複数の投影光学系の光軸位置に各々対応する前記走査方向と直交する方向の複数の計測位置において、前記マスクと前記感光基板との間隔を前記走査方向の複数の計測点で測定する測定手段と、前記走査方向の複数の計測点で得られたデータから前記走査方向に隣接する計測点の間を補間する補間データを算出する演算手段と、前記補間データによって補間された前記マスクと前記感光基板との間隔のデータを前記マスク又は前記感光基板上の位置と関連付けて記憶する記憶手段と、前記マスクと前記感光基板との少なくとも一方を駆動し、前記マスクと前記感光基板との相対的な位置関係を補正する位置補正手段と、前記走査露光の際に、前記記憶手段に記憶されたデータに基づいて、前記マスク上の複数の照明領域と前記感光基板上の複数の露光フィールドとの間隔が所定の関係を満たすように前記位置補正手段を制御する制御手段とを備えることを特徴とする走査型露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 526 A
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 518
