特許

J-GLOBAL ID：200903015242382970

脈動のない送出しのための液体送出しシステム

発明者： ドゥーゼムーント、クラウス ,  フライスラー、クラウス ,  ヤムメール、ヴィルフリート ,  ポート、ミハエル ,  ディクス、アルベルト ,  テムペル、エーベルハルト
出願人/特許権者： メルク パテント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフトング
代理人 (1件)： 金田 暢之 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-588535
公開番号（公開出願番号）：特表2002-532656
出願日： 1999年12月02日
公開日（公表日）： 2002年10月02日
要約：

【要約】【課題】【解決手段】 本発明は脈動なしに液体を送るための与圧システムに関する。本発明のシステムは、半導体産業において高純度の液状化学品のために用いることができる。

請求項（抜粋）：

脈動のない送出しのための液体送出しシステムにおいて、再循環回路に液体を送り出し、そして1つのみの貯蔵タンク(B1)を有することを特徴とする脈動のない送出しのための液体送出しシステム。

IPC (3件)：

F04B 11/00 ,  F17D 1/12 ,  H01L 21/02

FI (3件)：

F04B 11/00 Z ,  F17D 1/12 ,  H01L 21/02 Z

Fターム (23件)：

3H075AA09 ,  3H075BB00 ,  3H075BB19 ,  3H075BB20 ,  3H075BB21 ,  3H075CC03 ,  3H075DA00 ,  3H075DA06 ,  3H075DA07 ,  3H075DA11 ,  3H075DA13 ,  3H075DA14 ,  3H075DA15 ,  3H075DA16 ,  3J071AA11 ,  3J071BB05 ,  3J071BB14 ,  3J071BB15 ,  3J071CC04 ,  3J071CC16 ,  3J071DD11 ,  3J071DD28 ,  3J071FF11