物体表面の欠陥検出方法およびその装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：西川惠清 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-109673
公開番号（公開出願番号）：特開2001-296252
出願日： 2000年04月11日
公開日（公表日）： 2001年10月26日
要約：

【要約】【課題】欠陥に類似した特徴が存在したり、欠陥情報に途絶や欠落があっても正しく欠陥を検出する。【解決手段】検査対象物1の側面に間隔を置いて複数の線状光を照射する計測装置2、それにより得られる複数の線状パターンを撮影するTVカメラ3、および複数の線状パターンから画像処理を通じて上記側面における凹凸状の欠陥を検出する画像処理装置6などで欠陥検出装置を構成し、各線状パターンに変形があればその変形を欠陥特徴部とし、欠陥特徴部の形状を表す欠陥特徴量を少なくとも1つ抽出し、続いて、各欠陥特徴部に対して、一の方向に連なる複数の欠陥特徴部の群を欠陥候補とし、欠陥候補に含まれる複数の欠陥特徴部の欠陥特徴量をもとに欠陥候補の形状を評価して、側面における欠陥の程度および種別を判定し、欠陥候補から欠陥信頼性としての指標を抽出して欠陥候補が欠陥であるか否かを判定する処理機能を画像処理装置6に設けた。

請求項（抜粋）：

検査対象物の曲面となる表面に間隔を置いて複数の線状光を照射し、これら複数の線状光によって前記表面に沿った角度で配列される複数の線状パターンの撮影を行い、この撮影で得られた複数の線状パターンから、線状パターン処理過程および欠陥検出過程の画像処理を通じて、前記検査対象物の表面における凹凸状の欠陥を検出する欠陥検出方法であって、前記線状パターン処理過程は、前記撮影で得られた複数の線状パターンの各々に対して、当該線状パターンに変形があればその変形を欠陥特徴部として検出する欠陥特徴部検出過程と、前記欠陥特徴部の形状を表す欠陥特徴量を少なくとも1つ抽出する欠陥特徴量抽出過程とを含み、前記欠陥検出過程は、前記線状パターン処理過程で得られた複数の欠陥特徴部に対して、前記線状パターンの方向と交差する方向に連なる複数の欠陥特徴部の群を欠陥候補として抽出する欠陥候補抽出過程と、前記欠陥候補に含まれる複数の欠陥特徴部の欠陥特徴量をもとに当該欠陥候補の形状を評価して、前記検査対象物の表面における欠陥の程度および種別の少なくとも一方を判定する欠陥形状評価過程と、前記欠陥候補から欠陥としての確からしさを表す欠陥信頼性としての指標を抽出して当該欠陥候補が欠陥であるか否かを判定する欠陥信頼性評価過程とを含むことを特徴とする物体表面の欠陥検出方法。

IPC (3件)：

G01N 21/952 , G01B 11/30 , G06T 1/00 300

FI (3件)：

G01N 21/952 , G01B 11/30 A , G06T 1/00 300

Fターム (64件)：

2F065AA07 , 2F065AA21 , 2F065AA23 , 2F065AA25 , 2F065AA49 , 2F065AA67 , 2F065BB08 , 2F065BB15 , 2F065CC00 , 2F065FF01 , 2F065FF02 , 2F065FF09 , 2F065FF42 , 2F065GG06 , 2F065GG08 , 2F065GG12 , 2F065HH05 , 2F065HH12 , 2F065HH14 , 2F065JJ03 , 2F065JJ19 , 2F065JJ26 , 2F065LL08 , 2F065LL30 , 2F065MM03 , 2F065NN02 , 2F065PP15 , 2F065QQ03 , 2F065QQ21 , 2F065QQ23 , 2F065QQ24 , 2F065QQ41 , 2F065QQ42 , 2F065RR05 , 2F065RR06 , 2G051AA21 , 2G051AB07 , 2G051AB10 , 2G051BA10 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051EA16 , 2G051EC01 , 2G051ED14 , 5B057AA02 , 5B057BA02 , 5B057BA15 , 5B057CA02 , 5B057CA06 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057CB02 , 5B057CB06 , 5B057CB12 , 5B057CB16 , 5B057CC04 , 5B057CH08 , 5B057DA03 , 5B057DB02 , 5B057DB05 , 5B057DB08 , 5B057DC03 , 5B057DC08 , 5B057DC09

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