特許

J-GLOBAL ID：200903015248940690

外観検査方法及び外観検査装置

発明者： 林 精一 ,  中西 正丈 ,  中川 泰夫 ,  高木 裕治
出願人/特許権者： 日立電子株式会社 ,  株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-166310
公開番号（公開出願番号）：特開平6-003123
出願日： 1992年06月24日
公開日（公表日）： 1994年01月11日
要約：

【要約】【目的】 検査対象物の良否を常に正確に、かつ最適な状態で判定することができる外観検査方法及び装置を提供すること。【構成】 検査対象物3の上方に配置した複数の光源11〜17を用い、これらの光源により逐次異なった方向から検査対象物を照明し、その都度撮像カメラ21〜25で撮像して複数の画像データを得ると共に、スリット光発生部31、32用いてスリット光照射を行ない、所定の角度をもたせて上方から撮像して光切断像データを得、これらを併用して検査対象物の状態を認識判定するようにしたもの。【効果】 判定内容を充実させることができ、検査、測定レベルの性能を大幅に向上させることができることと、はんだ付け状態の検査効率を向上させることができる。

請求項（抜粋）：

検査対象物の上方に配置した照明手段により、前記検査対象物に対して角度を異ならしめて光照射を行ない、この光照射による前記検査対象物の表面からの反射光を上方から撮像し、当該反射光による画像データを画素ごとに演算処理し、検査対象物の大きさと形状を求め、これから形状データパタ-ンの特徴を抽出することにより良品と不良品を抽出判定する第1の判定手段と、検査対象物の上方に配置したスリット光発生手段により、前記検査対象物に対してスリット光照射を行ない、反射光を光切断線として上方から撮像し、当該光切断線による画像データを処理して形状線データを求め、これから検査対象物の位置と形状を求めることにより良品と不良品を抽出判定する第2の判定手段とを設け、これらの第1と第2の判定手段による判定結果を併用して検査対象物の状態を認識判定するように構成したことを特徴とする外観検査方法。

IPC (2件)：

G01B 11/24 ,  G01N 21/88

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-166711
  
• 特開昭62-050605
  
• 特開平2-151706