特許

J-GLOBAL ID：200903015261004774

有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法

発明者： 赤井 伴教
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-261619
公開番号（公開出願番号）：特開2003-077651
出願日： 2001年08月30日
公開日（公表日）： 2003年03月14日
要約：

【要約】【課題】 有機部層上に透明な第2電極をスパッタリング法で形成する際に、有機物層に生じるダメージを低減できる有機EL素子の製造方法を提供すること。【解決手段】 有機エレクトをルミネッセンス素子の製造方法は、基板上の第1電極の上に設けられ発光層を有する有機物層の上にスパッタ保護層を積層し、そのスパッタ保護層上にスパッタリング法を利用して透明な第2電極を形成する。

請求項（抜粋）：

基板上の第1電極の上に設けられ発光層を有する有機物層の上にスパッタ保護層を積層し、そのスパッタ保護層上にスパッタリング法を利用して透明な第2電極を形成する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。

IPC (2件)：

H05B 33/10 ,  H05B 33/14

FI (2件)：

H05B 33/10 ,  H05B 33/14 A

Fターム (16件)：

3K007AB00 ,  3K007AB11 ,  3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007CA00 ,  3K007CA01 ,  3K007CA02 ,  3K007CA04 ,  3K007CA06 ,  3K007CB01 ,  3K007DA00 ,  3K007DB03 ,  3K007EA04 ,  3K007EB00 ,  3K007FA01 ,  3K007FA03