特許
J-GLOBAL ID：200903015269106533
スパッタ膜、液晶素子及びこれらの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 敬介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-074793
公開番号（公開出願番号）：特開平10-265953
出願日： 1997年03月27日
公開日（公表日）： 1998年10月06日
要約：
【要約】【課題】 カラーフィルタ上に有機樹脂からなる保護膜を設けた液晶素子基板の該保護膜上に、枚葉式スパッタ装置によりITO膜を成膜する際に、異常放電によるターゲットや基板の損傷を防止し、且つ成膜時に上記保護膜から発生するガスによるITOの膜質低下を防止する。【解決手段】 スパッタ用導入ガスとして、Xeを主成分とするガスをスパッタ室内に導入し、DCマグネトロン法、或いは、RFを重畳したDCマグネトロン法によりスパッタを行なう。
請求項（抜粋）：
少なくとも、一つ以上の基板搬入搬出室、一つ以上のスパッタ室、及び該基板搬入搬出室とスパッタ室との間を連絡する搬送室を備えた枚葉式スパッタ装置を用いたスパッタ膜の製造方法において、スパッタ用導入ガスとしてXeを主成分とするガスを上記スパッタ室に導入してスパッタを行なうことを特徴とするスパッタ膜の製造方法。
IPC (4件)：
C23C 14/44
, C23C 14/08
, C23C 14/34
, G02F 1/1343
C23C 14/44
, C23C 14/08 D
, C23C 14/34 M
, G02F 1/1343
