特許
J-GLOBAL ID：200903015273340230
感光性樹脂組成物、感光液組成物及び感光性フィルム
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 孝久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-177715
公開番号（公開出願番号）：特開平5-257281
出願日： 1992年06月12日
公開日（公表日）： 1993年10月08日
要約：
【要約】【目的】 プリント配線板の高密度の導体回路の形成に適した、アルカリ水溶液にて現像可能な感光性樹脂組成物を提供する。【構成】 感光性樹脂組成物は、平均分子量500乃至50,000のスチレンと無水マレイン酸の共重合物を1分子中に少なくとも1個のヒドロキシル基及び少なくとも1個の(メタ)アクリロイル基を有する単量体でエステル化したハーフエステル化化合物と、カルボキシル基を有しガラス転移温度5 ゚C乃至150 ゚Cの飽和の高分子から成る。
請求項（抜粋）：
(A)一般式(1)で表されるハーフエステル化化合物と、【化1】(B)カルボキシル基を有し、ガラス転移温度が5 ゚C乃至150 ゚Cの飽和の高分子、から成ることを特徴とするアルカリ水溶液により現像可能な感光性樹脂組成物。
IPC (7件)：
G03F 7/038 501
, C08F 2/44 MCS
, C08F299/00 MRN
, G03F 7/004 512
, G03F 7/027 501
, G03F 7/033
, H01L 21/027
