特許
J-GLOBAL ID:200903015274142246

昇華性物質の回収方法及び回収装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 小谷 悦司 ,  植木 久一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-310055
公開番号(公開出願番号):特開2004-141777
出願日: 2002年10月24日
公開日(公表日): 2004年05月20日
要約:
【課題】無水ピロメリット酸(PMDA)含有ガスからPMDAを析出させて回収するにあたり、従来では微粒子状のものが多く回収され、吸湿や粉塵の問題があった。また回収率の更なる向上の余地もあった。そこで本発明は回収率が高く、ある程度大きな結晶として得ることのできる回収方法,回収装置を提供することを目的とする。【解決手段】PMDA含有ガスに冷却ガスを混合するのに続いてこの混合ガスをフィルター14に通過させることにより、フィルター14にPMDAの結晶を析出させる。エアー導入ライン16からの逆洗エアーによってフィルター14を撓ませ、これによりフィルター14面のPMDA結晶を剥離し、回収する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
昇華性物質含有ガスから昇華性物質を析出させて回収する方法において、 前記昇華性物質含有ガスに冷却ガスを混合するのに続いてこの混合ガスをフィルターに通して該フィルターに昇華性物質の結晶を析出させ、 この析出した昇華性物質結晶を、前記フィルターを変形させることによって剥離することを特徴とする昇華性物質の回収方法。
IPC (4件):
B01D7/02 ,  C07B61/00 ,  C07B63/00 ,  C07D493/04
FI (4件):
B01D7/02 ,  C07B61/00 C ,  C07B63/00 H ,  C07D493/04 101B
Fターム (22件):
4C071AA01 ,  4C071AA07 ,  4C071BB01 ,  4C071BB05 ,  4C071CC12 ,  4C071EE05 ,  4C071FF15 ,  4C071HH04 ,  4C071KK19 ,  4C071LL03 ,  4C071LL07 ,  4D076BD07 ,  4D076BD10 ,  4D076CB02 ,  4D076CB07 ,  4D076FA12 ,  4D076HA11 ,  4D076JA02 ,  4D076JA10 ,  4H006AA02 ,  4H006AA04 ,  4H006AD17

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