特許

J-GLOBAL ID：200903015281971177

感光性組成物及びパターン形成方法

発明者： 塘 洋一
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 高月 亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-153045
公開番号（公開出願番号）：特開平6-340802
出願日： 1993年05月31日
公開日（公表日）： 1994年12月13日
要約：

【要約】【目的】 微細加工が可能な光領域(例えば248nmや193nmの波長)においても高い透過率を有する感光性組成物を提供し、また、微細加工が可能なパターン形成方法を提供する。【構成】 ?@ポリカーボネート樹脂を水添して得られる如き、主鎖に-OCO・O-結合を含み、主鎖の炭素鎖が単結合から成る化合物と、光により、-OCO・O-結合を分解する物質を発生する化合物とを含有する感光性組成物。?@上記?@の組成物を用いるパターン形成方法。

請求項（抜粋）：

主鎖に-OCO・O-結合を含み、主鎖の炭素鎖が単結合から成る化合物と、光により、-OCO・O-結合を分解する物質を発生する化合物とを含有することを特徴とする感光性組成物。

IPC (7件)：

C08L 69/00 KKL ,  C08G 64/42 NPZ ,  C08K 5/03 KKJ ,  C08K 5/42 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027