X線顕微装置および方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-330505
公開番号（公開出願番号）：特開平7-191200
出願日： 1993年12月27日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：

【要約】【目的】半導体、ストレージ、生物分野における局所化学状態分析が可能な簡便かつ高空間分解能のX線顕微装置および方法を提供する。【構成】キャピラリー7の開口部外周に薄膜より形成された検出器4を隣接して配置する。【効果】 X線マイクロビームの形成が容易であり、かつ検出器を試料に近づけることができるので、大きな光電子信号強度を得ることが可能となる。この結果、試料表面の化学状態を短時間かつ高空間分解能で分析、観測可能である。

請求項（抜粋）：

X線を発生するX線源と、上記X線を集束し、試料に照射するための光学的開口部を有する部材と、集束されたX線により上記試料から発生した粒子を検出する検出器とからなるX線顕微装置において、上記検出器が薄膜より形成され、上記部材の開口部外周に隣接して配置され、上記試料と上記部材の間の距離を、上記粒子が検出できる位置に移動させる移動機構からなることを特徴とするX線顕微装置。

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