特許

J-GLOBAL ID：200903015290032280

プラズマ処理室壁処理方法

発明者： 古瀬 宗雄 ,  ダグラス エム トリケット
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (1件)： 特許業務法人第一国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-027405
公開番号（公開出願番号）：特開2004-241203
出願日： 2003年02月04日
公開日（公表日）： 2004年08月26日
要約：

【課題】プラズマ処理装置において、プラズマ処理室からの金属汚染及び異物を防止するとともにプラズマに晒される面の割れをなくす。【解決手段】プラズマ処理装置のプラズマ処理室チャンバを構成するアルミニウム母材2の表面に、母材とプラズマ接触面を構成する材の熱膨張係数の差を緩和する傾斜金属もしくは傾斜合金材料からなる接合層3を設け、接合層3の上にLa2O3、LaAlO3、MgLaAl11O19、La2O3とAl2O3の混合物のいずれかから選択した少なくともLaとOを含む金属酸化物を溶射によって成膜してプラズマ接触面1とした。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

プラズマ処理室壁処理方法において、プラズマ処理室基材にLa2O3を溶射してプラズマ接触面をコーティングしたことを特徴とするプラズマ処理室壁処理方法。

IPC (6件)：

H05H1/46 ,  B01J19/08 ,  C23C4/10 ,  C23F4/00 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065

FI (6件)：

H05H1/46 A ,  B01J19/08 E ,  C23C4/10 ,  C23F4/00 A ,  H01L21/205 ,  H01L21/302 101G

Fターム (29件)：

4G075AA30 ,  4G075BC06 ,  4G075CA47 ,  4G075EC30 ,  4G075EE12 ,  4G075FA12 ,  4G075FB01 ,  4G075FB02 ,  4G075FC20 ,  4K031AA01 ,  4K031AB02 ,  4K031AB03 ,  4K031AB04 ,  4K031AB08 ,  4K031AB09 ,  4K031CB09 ,  4K031CB14 ,  4K031CB42 ,  4K031CB43 ,  4K031EA06 ,  4K057DA01 ,  4K057DA02 ,  4K057DA19 ,  4K057DD03 ,  4K057DM14 ,  5F004BB30 ,  5F045BB15 ,  5F045EB03 ,  5F045EC05