特許

J-GLOBAL ID：200903015294955626

エッチングレジスト用硬化型組成物

発明者： 丹羽 真 ,  名越 裕之 ,  五十嵐 一郎
出願人/特許権者： 東亞合成株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-206580
公開番号（公開出願番号）：特開2003-021900
出願日： 2001年07月06日
公開日（公表日）： 2003年01月24日
要約：

【要約】【課題】高温下の2次エッチングにおいてもその硬化膜が耐エッチング性に優れ、その後のアルカリ溶解・剥離性及びパターン形成性のいずれにも優れる、特にシャドウマスク製造時の裏止め材に適したエッチングレジスト用硬化型組成物の提供。【解決手段】(a)1分子中に1個のカルボキシル基と1個の(メタ)アクリロイル基を有する化合物及び(b)3〜6個の水酸基を有する多価アルコールと、炭素数3〜12のモノカルボン酸及び(メタ)アクリル酸とのエステル化反応物である2個以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を含有してなるエッチングレジスト用硬化型組成物。

請求項（抜粋）：

(a)1分子中に1個のカルボキシル基と1個の(メタ)アクリロイル基を有する化合物及び(b)3〜6個の水酸基を有する多価アルコールと、炭素数3〜12のモノカルボン酸及び(メタ)アクリル酸とのエステル化反応物である2個以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を含有してなるエッチングレジスト用硬化型組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/027 501 ,  C08F220/02 ,  C08F220/20 ,  G03F 7/028

FI (4件)：

G03F 7/027 501 ,  C08F220/02 ,  C08F220/20 ,  G03F 7/028

Fターム (27件)：

2H025AA07 ,  2H025AA16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AC06 ,  2H025AD03 ,  2H025BC14 ,  2H025BC42 ,  2H025BC85 ,  2H025CA01 ,  2H025CA35 ,  2H025FA17 ,  4J100AJ02P ,  4J100AL08P ,  4J100AL66Q ,  4J100BA02Q ,  4J100BA15P ,  4J100BA15Q ,  4J100BA16P ,  4J100BC04P ,  4J100BC04Q ,  4J100BC23P ,  4J100BC43P ,  4J100BC43Q ,  4J100CA03 ,  4J100CA04 ,  4J100JA37