特許
J-GLOBAL ID：200903015295359393
角速度検出素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
五十嵐 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-340719
公開番号（公開出願番号）：特開2002-148048
出願日： 2000年11月08日
公開日（公表日）： 2002年05月22日
要約：
【要約】【課題】 角速度検出の精度を高める。【解決手段】 基台2に間隔を介して重り部3を対向配置する。この重り部3は4本の梁4によって変位可能に固定部5に支持されている。梁4a,4bの成す角度と、梁4c,4dの成す角度とが、梁4a,4dの成す角度や梁4b,4cの成す角度よりも大きくなるように4本の梁4を配置する。重り部3は駆動手段によってZ軸を中心軸として基台2の表面に沿って水平回動振動する。この振動状態で、Y軸を中心として回転すると、コリオリ力によって重り部3はX軸を中心として回動振動する。この振動状態をY軸回り角速度検知用電極7により検出することでY軸回りの回転の角速度を検出できる。上記重り部3の水平回動振動の共振周波数およびコリオリ力による検出振動の共振周波数を、不要振動の共振周波数よりも不要振動の悪影響を殆ど受けない程に低くすることが容易となる。
請求項（抜粋）：
基台と、この基台の表面と間隔を介して対向配置する重り部と、この重り部を変位可能な状態で支持する4本の梁と、上記基台の表面および重り部に直交するZ軸を中心軸にして上記重り部を上記基台の表面に沿って水平回動振動させるための駆動手段とを備えた角速度検出素子において、上記4本の梁は、それぞれ、重り部から離れる方向に伸長形成されている形態と成し、これら各梁は、それぞれ、重り部の周囲を周回する方向に隣り合っている両隣の梁のうちの一方側との成す角度よりも他方側との成す角度を大きくして配置されており、上記駆動手段による上記重り部の駆動振動の共振周波数およびコリオリ力に起因した上記重り部の検出振動の共振周波数を両方共に、上記駆動振動および検出振動以外の振動モードの共振周波数よりも低くする構成としたことを特徴とする角速度検出素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (4件)：
2F105BB01
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD05
