特許
J-GLOBAL ID：200903015300640780
フィルム転写修正装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
深見 久郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-212324
公開番号（公開出願番号）：特開2000-047017
出願日： 1998年07月28日
公開日（公表日）： 2000年02月18日
要約：
【要約】【課題】 加熱圧着の段階で微細パターンを形成し、現像工程を不要にでき、しかも小型のレーザを用いてフィルムの転写修正が可能なフィルム転写修正装置を提供する。【解決手段】 XYテーブル2上にワーク1を配置して、透明加圧板5により修正用フィルム3をワーク1に押付けて密着し、赤外領域の連続発振レーザまたは500Hz以上の高周波パルスレーザからなるレーザ光源10からのレーザ光を対物レンズ4を介して修正用フィルム3に照射すると、修正用フィルム3が加熱されて軟化し、ワーク1に熱圧着される。
請求項（抜粋）：
パターニングされた基板の欠陥部にフィルムを転写して修正するフィルム転写修正装置であって、前記パターニングされた基板を搭載するテーブル、前記パターニングされた基板の表面に密着する特性を持つフィルムを供給するためのフィルム供給手段、前記フィルム供給手段から供給されたフィルムを前記パターニングされた基板に密着させるための加圧手段、および赤外領域の連続発振レーザまたは500Hz以上の高周波パルスレーザによって光学的な修正パターン形状を前記フィルムに照射し、該形状のフィルムを前記パターニングされた基板に転写するための転写用光学手段を備えた、フィルム転写修正装置。
IPC (4件)：
G02B 5/20 101
, G02F 1/1335 505
, H01J 9/20
, H01J 11/02
G02B 5/20 101
, G02F 1/1335 505
, H01J 9/20 A
, H01J 11/02 Z
2H048BA11
, 2H048BB41
, 2H091FA02Y
, 2H091FC01
, 2H091FC29
, 2H091FC30
, 2H091LA07
, 2H091LA12
, 2H091LA13
, 5C028AA10
, 5C040FA01
, 5C040FA02
, 5C040GH03
, 5C040JA09
, 5C040JA19
, 5C040MA26
