特許

J-GLOBAL ID：200903015313317024

変位量計及び変位量測定方法

発明者： 杉野 正芳 ,  鈴木 豊 ,  杉本 雅裕 ,  横山 敦子
出願人/特許権者： 株式会社日本自動車部品総合研究所 ,  トヨタ自動車株式会社
代理人 (1件)： 伊藤 洋二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-257092
公開番号（公開出願番号）：特開平11-083433
出願日： 1997年09月22日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：

【要約】【目的】 可干渉性のある光の光路或いは音の伝搬路中の外乱に影響されることなく、被測定体の変位量を精度よく測定し得る変位量計及び変位量測定方法を提供することを目的とする。【解決手段】 レーザ干渉計にてレーザダイオード10からのレーザ光に基づき形成される参照光と物体光との干渉光には、非測定物体であるミラー50の変位量に応じた光ビート信号が含まれる。フォトデテクタ60が当該干渉光を受光すると、この受光信号は、バンドパスフィルタ70により、フィルタ信号となり、サンプリング回路90aによりサンプリングされる。このサンプリング出力は、ゼロクロス回路80を介しエンコーダ90により符号化される。この符号化によるコードデータが外乱のために異常となるとき、レーザ光周波数制御に必要なフィードバック制御が禁止される。

請求項（抜粋）：

可干渉光の光路中に置かれた被測定物体(50)がその変位量に応じて前記可干渉光を物体光として反射したとき、この物体光を、前記可干渉光に基づき形成される参照光と干渉させて干渉信号を形成し、この干渉信号に含まれる前記変位量に応じた信号成分の位相差を一定とするように前記可干渉光の出力を制御して、この制御出力に基づき前記変位量を測定する変位量測定方法において、前記信号成分をサンプリングしてサンプリングデータを形成し、このサンプリングデータに基づき前記信号成分を符号化データに変換し、この符号化データが所定の符号化データを表す基準データと同じである場合に、前記可干渉光の出力の制御を、前記信号成分に代えて、前記符号化データに基づき行うようにしたことを特徴とする変位量測定方法。