特許
J-GLOBAL ID：200903015313702963
金属のエッチング方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-168829
公開番号（公開出願番号）：特開平11-016880
出願日： 1997年06月25日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：
【要約】【課題】化学的に安定な金属のエッチング時間を大幅に短縮し、金属エッチングの選択性向上を容易にする。【解決手段】第1の金属を溶解することのできる第2の金属の溶融液に第1の金属の被着する処理対象物が浸せきされ、第1の金属が処理対象物からエッチング除去される。すなわち、第1の金属が第2の金属の融液で溶解金属処理される。ここで、第2の金属には第1の金属と反応し合金を形成することができる金属材料が用いられる。例えば、第1の金属AuあるいはCuである場合に、第2の金属としてハンダが用いられる。
請求項（抜粋）：
第1の金属を溶解することのできる第2の金属の溶融液に前記第1の金属の被着する処理対象物が浸せきされ、前記第1の金属が前記処理対象物からエッチング除去されることを特徴とする金属のエッチング方法。
IPC (4件)：
H01L 21/306
, B23K 35/26 310
, C23F 1/00
, H01L 21/3213
H01L 21/306 F
, B23K 35/26 310 A
, C23F 1/00 A
, H01L 21/88 C
