特許

J-GLOBAL ID：200903015319447876

外観検査用投光装置

発明者： 原田 満雄 ,  中村 郁三 ,  井場 陽一
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-031923
公開番号（公開出願番号）：特開平5-232032
出願日： 1992年02月19日
公開日（公表日）： 1993年09月07日
要約：

【要約】【目的】本発明は、簡単且つ低価格な構成で、大型基板全体を斑なく照明できると共に、基板上の異物検出能力に富み、且つ、基板の外観検査を効率よく行なえる外観検査用投光装置を提供する。【構成】本発明の投光装置は、光源28から発光された照明光を平行光束に規制する集光用フレネルレンズ18と、この集光用フレネルレンズ18を介して導光される平行光束に対して挿脱可能に構成され、導光された平行光束を収束光束に規制する投光用フレネルレンズ20と、この投光用フレネルレンズ20を介して導光された収束光束に対して挿脱可能に構成され、導光された収束光束に光学的特性を与えて大型基板22上を照明する散乱板24と、を備えている。

請求項（抜粋）：

基板表面を照明して、前記基板の外観検査を行う投光装置であって、照明光路中を導光された光を平行光束に規制する第1の光学手段と、この第1の光学手段を介して導光される前記平行光束に対して挿脱可能に構成され、前記平行光束に所定の光学的特性を与えて前記基板表面全体を照明可能に構成された第2の光学手段と、を備えていることを特徴とする外観検査用投光装置。

IPC (5件)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/24 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/84 ,  H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 外観検査用投光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-031922   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 特開昭57-178134