特許
J-GLOBAL ID：200903015329494147

ウエハ加工機

発明者：
ロバート イー、スティアー、ザ サード

ロバート イー、スティアー、ザ サード について

, 
リー パウリサン

リー パウリサン について


出願人/特許権者：
ティエスケィ アメリカ、インコーポレイテッド

ティエスケィ アメリカ、インコーポレイテッド について


代理人 (1件)： 浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-018873
公開番号（公開出願番号）：特開2001-239445
出願日： 2001年01月26日
公開日（公表日）： 2001年09月04日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 独立型のウエハ縁加工機、または既存の研削機に搭載することができるウエハ縁加工機を提供する。【解決手段】 加工機10は、異なるグレードのグリットでコーティングされた複数のテープ34であって、回転するウエハ13の縁を順次研磨して、加工済みウエハまたは他の基板から縁ビードを除去する複数のテープを使用する。テープ34は裏当てブロック31に装着され、このブロック31は回転してテープ34をウエハ13の上斜面との線接触状態からウエハ13の下斜面との線接触状態へと移動させる。テープ34を装着したスプール32,33を回転させることにより、テープ34の新しい表面を連続するウエハ13に与える。ウエハ13は、研磨中にテープ34に対してY軸および/またはX軸に沿って小さい一定量ずつ移動し、それによって研磨作業を改善することができる。
請求項（抜粋）：
基板の縁を加工するための加工ユニットであって、移動する基板の縁に対して加工媒体を配置する第1手段(29)と、基板の移動中に基板に垂直な面内で加工媒体を移動させて、移動する基板の少なくとも1つの側部に接触するように加工媒体を配置する第2手段(30)とを有することを特徴とする加工ユニット。
IPC (3件)：
B24B 21/00 ,  B24B 9/00 601 ,  H01L 21/304 621
FI (3件)：
B24B 21/00 A ,  B24B 9/00 601 H ,  H01L 21/304 621 E
引用特許：
審査官引用 (6件)
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