インクジェットヘッドおよびその製造方法並びにインクジェットプリンタ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-061496
公開番号（公開出願番号）：特開平9-248909
出願日： 1996年03月18日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：

【要約】【課題】安定した高品質の印字が可能なインクジェットヘッド及びその製造方法を得る。【解決手段】インク液滴を吐出する単一または複数のノズル孔17と、ノズル孔17の各々に連結する吐出室6と、吐出室6の少なくとも一方の壁を構成する振動板5と、振動板5に変形を生じさせる駆動手段とを備え、駆動手段が振動板5を静電気力により変形させる電極13からなり、振動板5が形成される基板1がSi基板であるインクジェットヘッドにおいて、吐出室6の一端に設けた第一のオリフィス42と第1のオリフィス42と反対に位置する吐出室6の一端に第2のオリフィス44を、異方性エッチング・等方性エッチング等で設ける。

請求項（抜粋）：

インク液滴を吐出する単一または複数のノズル孔と、該ノズル孔の各々に連結する吐出室と、該吐出室の少なくとも一方の壁を構成する振動板と、該振動板に変形を生じさせる駆動手段とを備え、前記駆動手段が前記振動板を静電気力により変形させる電極からなり、該振動板が形成される基板がSi基板であるインクジェットヘッドにおいて、前記吐出室の一端に第1のオリフィスを設け、第1のオリフィスと反対に位置する吐出室の一端に第2のオリフィスを設けることを特徴するインクジェットヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/135

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 N

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭63-199650
特開昭63-199650
特開昭63-199650

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