画像比較による欠陥検査方法及びその装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-188994
公開番号（公開出願番号）：特開2003-004427
出願日： 2001年06月22日
公開日（公表日）： 2003年01月08日
要約：

【要約】【課題】検査対象画像を参照画像と比較してその差異から欠陥を検出する比較検査において、パターンの疎密や形状に依存しない高精度な位置合わせ方法を提供することにある。また、位置合わせミスによる誤検出を低減した高感度な比較検査方法及び装置を提供することにある。更に、位置合わせ失敗の時にのみ検査感度を落とすことにより、検出感度の低下を必要最小限にとどめた、より広い範囲では高感度な比較検査方法及び装置を提供することにある。【解決手段】検査対象画像と参照画像をそれぞれ複数の領域に分割して、各分割画像間で位置ずれ量を算出し、これら複数の位置ずれ量のうち、信頼性の高い位置ずれ量のみを用いて画像全体の位置ずれ量を決定することにより、パターンの疎密や形状、画像間の輝度差の大小、画像内の輝度むらの大小によらず高精度な位置合わせが可能となる。また、位置合わせ精度をモニタすることにより必要に応じて検出感度の調整を行う。

請求項（抜粋）：

検査対象となる試料の画像を参照画像と比較して、欠陥を検出する欠陥検査方法であって、検査対象画像と参照画像の位置ずれ量を算出し、算出した位置ずれ量を用いて検査対象画像と参照画像の位置合せを行い、その差異から欠陥を検出することを特徴とする欠陥検査方法。

IPC (6件)：

G01B 11/30 , G01N 21/956 , G06T 1/00 305 , G06T 7/00 300 , G06T 7/60 150 , H01L 21/66

FI (6件)：

G01B 11/30 A , G01N 21/956 A , G06T 1/00 305 A , G06T 7/00 300 E , G06T 7/60 150 B , H01L 21/66 J

Fターム (49件)：

2F065AA03 , 2F065AA12 , 2F065AA49 , 2F065CC19 , 2F065CC25 , 2F065DD03 , 2F065DD09 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065MM02 , 2F065PP12 , 2F065QQ03 , 2F065QQ13 , 2F065QQ24 , 2F065QQ39 , 2F065RR05 , 2F065SS13 , 2G051AA51 , 2G051AA90 , 2G051AB02 , 2G051EA08 , 2G051EA12 , 2G051EA14 , 4M106AA01 , 4M106CA39 , 4M106DB04 , 4M106DJ11 , 4M106DJ14 , 4M106DJ19 , 4M106DJ21 , 4M106DJ23 , 5B057AA01 , 5B057BA30 , 5B057CA08 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057CE11 , 5B057DA03 , 5B057DA07 , 5B057DB02 , 5B057DB09 , 5B057DC32 , 5B057DC33 , 5L096AA06 , 5L096BA03 , 5L096EA12 , 5L096EA14 , 5L096FA69 , 5L096HA07

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