特許
J-GLOBAL ID：200903015357042294
磁区観察用近接場走査型顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池内 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-053813
公開番号（公開出願番号）：特開平5-180756
出願日： 1991年02月26日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：
【要約】[目的] 試料に照射した直線偏光の光の偏光面が試料の磁化に応じて回転することを利用し高分解能の磁区観察用近接場走査型顕微鏡を実現する。[構成] 試料裏面からあるいは表面から直線偏光の光を照射し、この光の試料を通る透過光または試料による反射光を偏光依存ピックアップ手段により検出する。偏光依存ピックアップ手段は検出された光の偏光方向の回転角に応じてその出力が変化するから、この出力は試料の磁化に対応したものとなる。従って、このような偏光依存ピックアップにより試料表面を走査することにより、試料の磁区観察が可能となる。また、偏光依存ピックアップ手段と試料とを相対的に回転して最大出力の点を求めることにより磁化の方向を検出することもできる。
請求項（抜粋）：
試料裏面から直線偏光の光を照射する光照射手段と、前記試料に対し相対的に走査可能でありかつ試料表面におけるエバネセント波の偏光の回転角の変化を検出する偏光依存ピックアップ手段とを具備することを特徴とする磁区観察用近接場走査型顕微鏡。
IPC (2件)：
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