特許
J-GLOBAL ID：200903015360778439
照明光学系
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
篠原 泰司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-085287
公開番号（公開出願番号）：特開平9-274138
出願日： 1996年04月08日
公開日（公表日）： 1997年10月21日
要約：
【要約】【課題】 拡散面の拡散特性を制御することにより、理想的な開口数を有し、且つ一定の範囲内でムラのない均一で明るい照明光を供給できる照明光学系を提供する。【解決手段】 本発明の照明光学系は、光源面1と標本面9との間に、光源面1側から順に、コレクタレンズ2,拡散面3を有する拡散板4,光源像投影レンズ6及びコンデンサレンズ8が配置され、更に、拡散板4と光源像投影レンズ6との間には視野絞り5が、光源像投影レンズ6とコンデンサレンズ8との間には開口絞り7が夫々配置されて構成されている。
請求項（抜粋）：
光源と物体との間に配置された照明光学系において、該照明光学系中に少なくとも1面の拡散面と該拡散面からの拡散光を前記物体に投影するレンズ群とを備え、前記拡散面のパターンをホログラフィ手段により形成したことを特徴とする照明光学系。
IPC (4件)：
G02B 19/00
, G02B 5/32
, G02B 13/00
, G02B 21/06
G02B 19/00
, G02B 5/32
, G02B 13/00
, G02B 21/06
