特許
J-GLOBAL ID：200903015371639422
記録媒体の製造装置及び記録媒体の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宇高 克己
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-055707
公開番号（公開出願番号）：特開平9-245344
出願日： 1996年03月13日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：
【要約】【課題】 耐久性に優れた保護膜を形成する技術を提供することである。【解決手段】 真空槽と、支持体に設けた記録膜上に保護膜構成材料を堆積させて保護膜を形成する保護膜形成手段とを具備してなり、前記保護膜形成手段と支持体上の記録膜との間に電子シャワー装置が設けられ、この電子シャワー装置は、カソードと、このカソードを挟むように設けた前記保護膜形成手段に近い側の第1のアノード及び前記支持体に近い側の第2のアノードとからなる記録媒体の製造装置。
請求項（抜粋）：
真空槽と、支持体に設けた記録膜上に保護膜構成材料を堆積させて保護膜を形成する保護膜形成手段とを具備してなり、前記保護膜形成手段と支持体上の記録膜との間に電子シャワー装置が設けられ、この電子シャワー装置は、カソードと、このカソードを挟むように設けた前記保護膜形成手段に近い側の第1のアノード及び前記支持体に近い側の第2のアノードとからなることを特徴とする記録媒体の製造装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G11B 5/84 B
, C23C 14/00 D
