特許
J-GLOBAL ID：200903015372022569
ターボ分子ポンプ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯沼 義彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-171768
公開番号（公開出願番号）：特開平6-026493
出願日： 1992年06月05日
公開日（公表日）： 1994年02月01日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 超高真空あるいは極高真空を得るための排気に用いられるターボ分子ポンプに関するもので、特にロータの熱放射による熱伝達効率を向上させて極高真空の排気にも適用できるようにするものである。【構成】 一端部に吸気口2を有するとともに他端部に排気口3を有するケーシング1と、同ケーシング1内に回転可能に支持されロータ翼4aを多段状に有するロータ4と、同ロータ4のロータ翼4a相互間に微小隙間を開けて嵌入しケーシング1内壁に固定されたステータ翼5aを多段状に有するステータ5と、ロータ4を回転駆動すべく同ロータ4と同軸的に設けられたモータ10とをそなえたターボ分子ポンプにおいて、ロータ翼4aおよびステータ翼5aが、排気口3に近い段部4',5'で共にセラミック表面41,51を有し、それ以外の段部ではすべて金属表面を有している。
請求項（抜粋）：
一端部に吸気口を有するとともに他端部に排気口を有するケーシングと、同ケーシング内に回転可能に支持されロータ翼を多段状に有するロータと、同ロータのロータ翼相互間に微小隙間をあけて嵌入し上記ケーシング内壁に固定されたステータ翼を多段状に有するステータと、上記ロータを回転駆動すべく同ロータと同軸的に設けられたモータとをそなえたターボ分子ポンプにおいて、上記のロータ翼およびステータ翼が、上記排気口に近い段部で共にセラミック表面を有し、それ以外の段部ではすべて金属表面を有していることを特徴とする、ターボ分子ポンプ。
IPC (2件)：
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