特許

J-GLOBAL ID：200903015372321663

化学蒸着法で有用なタンタルならびにニオブ試薬とそれを使用する蒸着コーティングの方法

発明者： キールリン.ピーター.エス ,  バールトストラ.ブライアン.エー ,  ゴルドン.ダグラス ,  グラスマン.ティモシー.イー
出願人/特許権者： アドバンスド.テクノロジー.マテリアルズ.インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 押田 良久
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-510321
公開番号（公開出願番号）：特表平11-508534
出願日： 1995年09月14日
公開日（公表日）： 1999年07月27日
要約：

【要約】化学蒸着法原料試薬としての使用に適するニオブならびにタンタルの化合物と、前記化合物を用いてニオブもしくはタンタル含有コーティングを蒸着する方法に関する。前記化合物は次式を有す:[式中、Xが1乃至4であり;Mはタンタルもしくはニオブ;Gは酸素もしくは硫黄;そしてR1、R2およびR3は個々にヒドロカルビル、フルオロアルキル、もしくはアルコキシ基である]。

請求項（抜粋）：

次式の化合物である: M(OR1)x (R2-C(G)-CH-C(G)-R3)5-x [式中、xが1乃至4であり; Mがタンタルもしくはニオブであり; Gが酸素もしくは硫黄であり; R1がC1-C6のヒドロカルビルもしくはフルオロアルキルであり; かつ、 R2とR3が個々にC2-C6のヒドロカルビル、C2-C6のフルオロアルキル、もしくはC1-C6のアルコキシ基から、-R2とR3が同時にメチルまたはフェニルの両者でないことを条件に、かつR2とR3のいずれか片方がメチルである時、他方がフェニルでないことをさらに条件として選ばれる]ことを特徴とする化合物。

IPC (2件)：

C07F 9/00 ,  C23C 16/40

FI (2件)：

C07F 9/00 Z ,  C23C 16/40

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭60-140880
  
• 特開昭59-168678