特許
J-GLOBAL ID：200903015377678624
異常診断機能付マスフローコントローラ及びその異常診断方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大場 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-147540
公開番号（公開出願番号）：特開平7-005930
出願日： 1993年06月18日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 バルブ部の弁駆動電圧を異常有無の判定基準とするものであって、バルブ部のヒステリシスの影響を受けることなく診断を行うマスフローコントローラを提供する。【構成】 流体の流入路と、バイパス流路と流量センサ流路の流体が合流して流れる流出路に設けた流量制御弁を有するマスフローコントローラにおいて、予め所定の稼動サイクルに沿って各ステップの流量設定信号に対応する弁駆動信号を1ステップ毎に適宜安定時間をおいて計測すると共にこれらを基準弁駆動信号として記憶する手段と、稼動中で任意のステップにおける前記基準弁駆動信号を読み出す手段と、このとき比較制御部から実際出力されている弁駆動信号を適宜安定時間をおいて計測し、この弁駆動信号に許容量を加味したものと当該ステップにおける基準弁駆動信号とを比較する比較手段と、この比較結果に応じて異常信号を表示する表示手段とを備える。
請求項（抜粋）：
流体の流入路と、流入路からの流体が流れるバイパス流路と、バイパス流路から分岐し所定の分流比の流体が流れるセンサ流路と、センサ流路を流れる流体の流量を計測する流量センサと、前記バイパス流路とセンサ流路の流体が合流して流れる流出路と、流出路に設けた流量制御弁と、前記流量センサで検出した質量流量信号と予め設定した質量流量設定信号とを比較し、前記流量制御弁へ弁駆動信号を出力する比較制御部とを有するマスフローコントローラにおいて、予め所定の稼動サイクルに沿って各ステップの質量流量設定信号に対応する弁駆動信号を1ステップ毎に適宜安定時間をおいて計測すると共にこれらを基準弁駆動信号として記憶する手段と、稼動中で任意のステップにおける前記基準弁駆動信号を読み出す手段と、このとき比較制御部から実際出力されている弁駆動信号を適宜安定時間をおいて計測し、この弁駆動信号に許容量を加味したものと当該ステップにおける基準弁駆動信号とを比較する比較手段と、この比較結果に応じて異常信号を表示する表示手段とを備えたことを特徴とする異常診断機能付マスフローコントローラ。
IPC (5件)：
G05D 7/06
, G01F 1/00
, G01F 1/76
, G01F 15/06
, G08B 21/00
