特許
J-GLOBAL ID：200903015378362540
配線形成用Mo-W材、配線形成用Mo-Wタ-ゲットとその製造方法、およびMo-W配線薄膜と液晶表示装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-122239
公開番号（公開出願番号）：特開2000-001732
出願日： 1994年12月14日
公開日（公表日）： 2000年01月07日
要約：
【要約】【課題】 低抵抗でテーパ加工が可能であると共に、層間絶縁膜やITO等のエッチャントに対して高耐性を有する配線形成用材料、配線形成用ターゲットおよび配線薄膜が求められている。【解決手段】 配線形成用材料は、一体として見た場合に、原子パーセントでタングステン25〜 45%、残部モリブデンおよび不可避的不純物よりなるMo-W材である。配線形成用ターゲットは、原子パーセントでタングステン25〜 45%、残部モリブデンおよび不可避的不純物よりなり、例えばタングステンとモリブデンを粉末冶金法や溶解法などで複合一体化したMo-W材からなる。配線膜は上記したMo-Wターゲットを用いて形成してなるものである。
請求項（抜粋）：
一体として見た場合に、原子パーセントでタングステン25〜45%、残部モリブデンおよび不可避的不純物よりなることを特徴とする配線形成用Mo-W材。
IPC (2件)：
C22C 27/04 101
, G02F 1/1343
C22C 27/04 101
, G02F 1/1343
