特許

J-GLOBAL ID：200903015378976106

研磨パッドの研磨面の調節装置

発明者： ダグラス ピー.クリーガー ,  ジューンドン リー
出願人/特許権者： インテグレイテッド プロセス イクイップメント コーポレイション
代理人 (1件)： 浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-127696
公開番号（公開出願番号）：特開平10-315117
出願日： 1998年05月11日
公開日（公表日）： 1998年12月02日
要約：

【要約】【課題】 半導体ウェーハの表面の凹凸を除去して平坦な研磨パッド状態を得るために使用された研磨パッドを、効率的に一様に調節して再生するための改良された装置を提供する。【解決手段】 調節装置30の調節アーム32は第1点でシャフト34に取付けられる。シャフト34は駆動モーター31によって研磨パッド12の上を枢動される。調節アーム32に連結されたキャリヤ35は調節アーム32の長手方向軸線38と実質的に整合される。可撓部材44が支持プレート37に取付けられ、また研磨ダイヤモンドストリップ46が可撓部材44に取付けられて柔軟な粗面化部材を形成し、この粗面化部材が研磨パッド12の表面と接触される。可撓部材44は水などの流体を導入される。調節アーム32は枢動されて非作動位置すなわち研磨パッド12の周辺部に隣接した休止位置Xから、矢印33で示す円弧に沿ってウェーハを研磨するのに使用された研磨パッドの主面を横断して、研磨パッド12に隣接した第2位置Yへ掃引される。

請求項（抜粋）：

周辺部を有する研磨パッドの研磨面を調節する装置であって、長手方向軸線を有するとともにその軸線に沿って第1および第2の点を有しており、また前記研磨パッドの周辺部に隣接した第1点のまわりを枢動するようになされている調節アームと、前記調節アームに沿って第2点に対して水平軸線で枢動連結され、前記長手方向軸線と実質的に整合された細長いキャリヤと、前記キャリヤに取付けられて研磨パッドの研磨面を調節するための粗面化部材とを有し、前記研磨パッドを調節するために、前記点のまわりの前記調節アームの枢動が研磨全面を横断して前記粗面化部材を掃引するようになされた研磨パッドの研磨面の調節装置。