特許
J-GLOBAL ID：200903015379149467
静電型電気音響変換素子用振動膜およびこの振動膜の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-262076
公開番号（公開出願番号）：特開2001-086595
出願日： 1999年09月16日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：
【要約】【課題】 単層の振動薄膜より成る静電型電気音響変換素子用振動膜およびその製造方法を提供する。【解決手段】 金属材料薄板母材1の表面の内の金属材料薄膜3が形成されるべき領域以外の領域にマスク2を形成し、金属材料薄板母材1のマスク2が形成される表面にメッキ技術を適用して金属材料薄膜3を成膜し、金属材料薄板母材1の表面に成膜された金属材料薄膜3に対応する領域の金属材料薄板母材1をエッチング除去し、金属材料リング15の上端面に接着剤を塗布したものを金属材料薄板母材1のエッチング除去された領域4に挿入して金属材料薄膜3の露出した下面に接合し、金属材料リング15に接合する金属材料薄膜3のリング外周縁部を打ち抜く静電型電気音響変換素子用振動膜およびその製造方法。
請求項（抜粋）：
金属材料薄板母材の表面の内の金属材料薄膜が形成されるべき領域以外の領域にマスクを形成し、金属材料薄板母材のマスクが形成される表面にメッキ技術を適用して金属材料薄膜を成膜し、金属材料薄板母材の表面に成膜された金属材料薄膜に対応する領域の金属材料薄板母材をエッチング除去し、金属材料リングの上端面に接着剤を塗布したものを別途に準備しておき、これを接着剤を塗布した上端面を上にして金属材料薄板母材のエッチング除去された領域に挿入して金属材料薄膜の露出した下面に接合し、金属材料リングに接合する金属材料薄膜のリング外周縁部を打ち抜くことを特徴とする静電型電気音響変換素子用振動膜の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H04R 19/01
, H04R 31/00 C
審査官引用 (2件)
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特開昭59-072300
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特開昭48-087823
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