特許
J-GLOBAL ID：200903015380014478
ウエハの裏面研削方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 富士弥 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-117817
公開番号（公開出願番号）：特開平5-315304
出願日： 1992年05月12日
公開日（公表日）： 1993年11月26日
要約：
【要約】【目的】 ウエハ表面へ水,酸等の侵入のないウエハの裏面研削を可能にする。【構成】 ウエハ10表面の周辺部に、ポリミド膜11を一括露光法を用いた処理で残し、次に、粘着剤13を塗布し、粘着剤13上に保護シート14を貼り付けた後、裏面研削を行なう。ウエハ周辺に凹凸が無いため、粘着剤の被覆性がよく保護シートを良好に貼り付けることが出来、水,酸等のウエハ表面への侵入を防止する。
請求項（抜粋）：
表面にスクライブラインが形成されたウエハの表面にオーバーパッシベーション膜を形成し、一括露光法を用いてウエハ周辺部に前記オーバーパッシベーション膜を残した後、前記ウエハ表面に保護シートを粘着させて裏面を研削することを特徴とするウエハの裏面研削方法。
IPC (3件)：
H01L 21/304 321
, H01L 21/304 331
, H01L 21/78
