特許
J-GLOBAL ID:200903015382400855

洗浄装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 加藤 久
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-074163
公開番号(公開出願番号):特開平10-263191
出願日: 1997年03月26日
公開日(公表日): 1998年10月06日
要約:
【要約】【課題】 洗浄速度が速く、優れた洗浄能力を長期間維持することができる洗浄装置を提供する。【解決手段】 洗浄装置10は、ブラシ状の研磨材11X,11Yをドーナツ状に植設した上部円板12および下部円板13を上下に配置し、上部円板12は支持軸16に回動自在に取付け、下部円板13はモータ14で回転駆動する。研磨作業中の研磨材11X,11Yの変形防止のため、上部円板12および下部円板13の内周から外周に向かって研磨材11X,11Yの長さを段階的に短くした部分、研磨材11X,11Yの直径を段階的に大きくした部分を備え、外周部分に変形防止材20を設けている。また、下部円板13の中心部には皿状の誘導部材18を配置している。
請求項(抜粋):
研磨材を植設した複数の研磨材保持体を、前記研磨材が互いに相対するように配置し、前記研磨材保持体の少なくとも一方を回転させ、前記研磨材間に被洗浄物を通過させて洗浄を行う洗浄装置であって、前記研磨材の回転中の変形を防止するための変形防止手段を備えたことを特徴とする洗浄装置。
IPC (2件):
A63F 7/02 351 ,  B24B 29/00
FI (2件):
A63F 7/02 351 Z ,  B24B 29/00 B
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 計数機付き研磨装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-101949   出願人:秀工電子株式会社

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