特許

J-GLOBAL ID：200903015385704162

ウェットエッチングの終点検出方法およびウェットエッチング装置

発明者： 横山 茂
出願人/特許権者： カシオ計算機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-340592
公開番号（公開出願番号）：特開平7-161683
出願日： 1993年12月07日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：

【要約】【目的】 エッチング処理に使用したエッチング液のpH変化に基づいて、ウェットエッチングの終点検出を可能とする。【構成】 合金TiWによる金属箔を表面に形成した基板8を収容して、30%過酸化水素水によるエッチング液を供給するエッチングチャンバ3を備えるウェットエッチング装置において、エッチングチャンバ3から排出されるエッチング液のpHを検出するpHセンサー7を設ける。そして、このpHセンサー7により検出されたエッチング液のpH変化(初期2.29から2.00で終了)に基づいて、制御手段10によりエッチング処理を終了する。

請求項（抜粋）：

基板の表面に形成した金属箔をエッチング液によりエッチング処理するウェットエッチングにおいて、前記エッチング処理に使用した前記エッチング液のpHを検出して、その使用した前記エッチング液のpH変化に基づいてエッチングの終点を検出することを特徴とするウェットエッチングの終点検出方法。

IPC (2件)：

H01L 21/306 ,  C23F 1/08 101

FI (2件)：

H01L 21/306 U ,  H01L 21/306 J

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-278872
  
• 特開昭62-065336
  
• 特開昭55-138235