特許

J-GLOBAL ID：200903015396029688

固体撮像装置およびその製造方法

発明者： 佐藤 淳一
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-208665
公開番号（公開出願番号）：特開平9-055488
出願日： 1995年08月16日
公開日（公表日）： 1997年02月25日
要約：

【要約】【課題】 固体撮像装置の平坦化層の平坦性を向上し、感度を向上し感度むらを低減する。【解決手段】 転送電極や遮光膜5等が形成された試料上に平坦化前駆層10を形成し、これに研磨あるいは化学的機械研磨を施し、平坦化層7を形成する。【効果】 平坦化層7は被処理基板上すべての領域で極めて均一に平坦化されるので感度むらは低減し、また膜厚は薄くても平坦化の効果を奏するので、感度が向上する。

請求項（抜粋）：

光センサ部上に選択的に開口する遮光層を少なくとも有し、前記遮光層上に少なくとも平坦化層を有する固体撮像装置において、該平坦化層表面は研磨による平坦表面を有することを特徴とする、固体撮像装置。

IPC (3件)：

H01L 27/14 ,  H01L 27/148 ,  H04N 5/335

FI (3件)：

H01L 27/14 D ,  H04N 5/335 U ,  H01L 27/14 B

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 固体撮像装置及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-047390   出願人：ソニー株式会社
• 特開平2-005472
  
• 特開平2-005472
  
• 特開平2-005472