特許

J-GLOBAL ID：200903015405861847

液晶表示装置の製造方法と製造装置

発明者： 田中 栄
出願人/特許権者： 田中 栄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-064180
公開番号（公開出願番号）：特開2001-201756
出願日： 2000年01月19日
公開日（公表日）： 2001年07月27日
要約：

【要約】【目的】 大型アクティブマトリックス型液晶表示装置の製造工程において、製造工程の省略化による大幅な製造時間の短縮化をはかり、生産効率を大幅に向上する。【構成】少なくとも一方が透明な一対の基板と前記基板間にはさまれた液晶組成物層からなる液晶表示装置の製造工程において、2層以上の異なる金属や合金を用いて、走査線を形成する時に、ホトマスクの透過光量を変調させポジ型ホトレジストの現像後の膜厚を多段階に変調し、ウェットエッチング処理と、プラズマ・アッシング処理を交互におこなうことで走査線のエッジ部を階段状に加工することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

少なくとも一方が透明な一対の基板と前記基板間にはさまれた液晶組成物層からなる液晶表示装置の製造工程において2層以上の異なる金属や合金を用いて、走査線を形成する時に、透過光量を多段階に変調させたホトマスクを用いて、ポジ型ホトレジストの現像後の膜厚を多段階に変調し、ウェットエッチング処理とプラズマアッシング処理やプラズマエッチング処理を交互におこなうことで走査線のエッジ部を階段状またはテーパー状に加工することを特徴とする製造方法

IPC (10件)：

G02F 1/1343 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 ,  G02F 1/1339 500 ,  G02F 1/1368 ,  G09F 9/30 338 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/3213 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336

FI (12件)：

G02F 1/1343 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 ,  G02F 1/1339 500 ,  G09F 9/30 338 ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 21/302 B ,  H01L 21/88 C ,  H01L 29/78 612 D ,  H01L 29/78 616 T ,  H01L 29/78 617 K ,  H01L 29/78 618 C

Fターム (112件)：

2H088FA17 ,  2H088FA24 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088HA02 ,  2H088MA20 ,  2H089LA10 ,  2H089NA14 ,  2H089QA12 ,  2H089TA01 ,  2H089TA02 ,  2H089TA09 ,  2H092GA24 ,  2H092GA26 ,  2H092GA32 ,  2H092GA33 ,  2H092GA51 ,  2H092JA28 ,  2H092JA29 ,  2H092JA34 ,  2H092JB22 ,  2H092JB31 ,  2H092KB24 ,  2H092MA08 ,  2H092MA14 ,  2H092MA18 ,  2H092MA19 ,  2H092MA35 ,  2H092NA27 ,  2H092NA29 ,  2H092PA03 ,  2H092PA08 ,  5C094AA03 ,  5C094AA42 ,  5C094AA43 ,  5C094AA44 ,  5C094AA46 ,  5C094AA55 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094DA13 ,  5C094EA04 ,  5C094EA05 ,  5C094EA07 ,  5C094EB02 ,  5C094EC03 ,  5C094FA01 ,  5C094FA02 ,  5C094GB10 ,  5F004AA02 ,  5F004AA16 ,  5F004BA06 ,  5F004BB13 ,  5F004BD01 ,  5F004CA05 ,  5F004CA09 ,  5F004EA10 ,  5F004EA28 ,  5F004EA40 ,  5F033GG04 ,  5F033HH04 ,  5F033HH07 ,  5F033HH08 ,  5F033HH09 ,  5F033HH11 ,  5F033HH12 ,  5F033HH17 ,  5F033HH18 ,  5F033HH20 ,  5F033HH22 ,  5F033HH27 ,  5F033HH29 ,  5F033MM05 ,  5F033MM08 ,  5F033MM17 ,  5F033MM19 ,  5F033MM20 ,  5F033QQ01 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ10 ,  5F033QQ12 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ21 ,  5F033XX33 ,  5F033XX34 ,  5F110AA16 ,  5F110AA26 ,  5F110BB01 ,  5F110CC01 ,  5F110DD02 ,  5F110EE02 ,  5F110EE05 ,  5F110EE06 ,  5F110EE14 ,  5F110GG02 ,  5F110GG15 ,  5F110HK09 ,  5F110HK25 ,  5F110HL02 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL05 ,  5F110HL06 ,  5F110HL11 ,  5F110HM02 ,  5F110HM03 ,  5F110HM18 ,  5F110NN02 ,  5F110NN24 ,  5F110NN72 ,  5F110QQ01