特許
J-GLOBAL ID:200903015410457175

ブレードのプロファイル形状検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山田 恒光 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-044597
公開番号(公開出願番号):特開平6-235632
出願日: 1993年02月09日
公開日(公表日): 1994年08月23日
要約:
【要約】【目的】 焦点合わせ作業に要する時間を短縮する。【構成】 操作盤35より制御装置57へデータ記録指令信号41を入力すると各位置検出器30,31,32,33,34が出力する位置検出信号51,52,53,54,55が、位置データ56としてデータ記録装置50に記録される。操作盤35より制御装置57へブレード断面指定信号42を入力すると、データ記録装置50に記録されている位置データ56に基づいて駆動指令信号58が電源装置44へ入力され、各移動装置25,26,27、回動装置28、傾動装置29が駆動されて、第1の移動体8、第2の移動体11、第3の移動体14が、X軸方向、Y軸方向、Z軸方向に移動し、また、回転体15がθ軸を中心に回動し、更に、傾動体17がα軸を中心に傾動する。
請求項(抜粋):
水平に延びるX軸に沿って移動し得るように基板に支持された第1の移動体と、前記X軸に対して直角に且つ水平に延びるY軸に沿って移動し得るように前記第1の移動体に支持された第2の移動体と、垂直に延びるZ軸に沿って移動し得るように前記第2の移動体に支持された第3の移動体と、垂直に延びるθ軸を中心に回動し得るように前記第3の移動体の上面に支持された回転体と、水平に延びるα軸を中心に傾動し得るように前記回転体に支持された傾動体と、該傾動体に取り付けられ且つブレード一体型ディスクを支持可能な支持部と、前記第1の移動体を基板に対してX軸方向へ移動させるX軸方向移動装置と、前記第2の移動体を第1の移動体に対してY軸方向へ移動させるY軸方向移動装置と、前記第3の移動体を第2の移動体に対してZ軸方向へ移動させるZ軸方向移動装置と、前記回転体を第3の移動体に対してθ軸を中心に回動させるθ軸中心回動装置と、前記傾動体を回転体に対してα軸を中心に傾動させるα軸中心傾動装置と、支持部に支持されたブレード一体型ディスクのブレードの前縁部へ光を入射させる光源と、前記ブレードの前縁部による反射光を捉えるテレビカメラと、該テレビカメラが出力する画像信号に基づいて前記反射光を画像表示するテレビモニターと、前記第1の移動体のX軸方向の位置を検出するX軸方向位置検出器と、前記第2の移動体のY軸方向の位置を検出するY軸方向位置検出器と、前記第3の移動体のZ軸方向の位置を検出するZ軸方向位置検出器と、前記回転体のθ軸周方向の位置を検出するθ軸周方向位置検出器と、前記傾動体のα軸周方向の位置を検出するα軸周方向位置検出器と、X軸方向移動装置手動操作信号、Y軸方向移動装置手動操作信号、Z軸方向移動装置手動操作信号、θ軸中心回動装置手動操作信号、α軸中心傾動装置手動操作信号、データ記録指令信号、ブレード断面指定信号を出力する操作盤と、前記X軸方向移動装置、Y軸方向移動装置、Z軸方向移動装置、θ軸中心回動装置、α軸中心傾動装置へ駆動用電流を供給する電源装置と、前記X軸方向位置検出器、Y軸方向位置検出器、Z軸方向位置検出器、θ軸周方向位置検出器、α軸周方向位置検出器が出力する位置検出信号を位置データとして記録し得るデータ記録装置と、前記データ記録指令信号が入力された際に位置検出信号を位置データとして前記データ記録装置に記録させ、また移動装置手動操作信号あるいはブレード断面指定信号が入力された際に前記電源装置へ駆動指令信号を出力する制御装置とを備えてなることを特徴とするブレードのプロファイル形状検査装置。
IPC (2件):
G01B 21/20 101 ,  G01B 11/24

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