特許

J-GLOBAL ID：200903015410839256

露光装置

発明者： 江越 幸久
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 西山 恵三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-190401
公開番号（公開出願番号）：特開2001-022087
出願日： 1999年07月05日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：

【要約】【課題】 基板の載置方向がいずれかの向きであっても露光が可能になり、基板に露光されるパターンのレイアウトの自由度が向上し、レイアウトの最適化が可能となる。【解決手段】 所定のパターンを基板上に露光する露光装置において、基板の複数の載置方向に対応可能に設けられた基板保持手段を有することを特徴とする露光装置。さらに、基板保持手段は、基板の各載置方向に対応した位置に設けられた、基板位置検出用のセンサと基板吸着用のバキューム手段を有することを特徴としている。

請求項（抜粋）：

所定のパターンを基板上に露光する露光装置において、前記基板の複数の載置方向に対応可能に設けられた基板保持手段を有することを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

G03F 7/20 501 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

G03F 7/20 501 ,  H01L 21/68 P ,  H01L 21/30 515 G

Fターム (20件)：

2H097AA03 ,  2H097AB09 ,  2H097BA10 ,  2H097GB00 ,  2H097LA12 ,  5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA12 ,  5F031HA13 ,  5F031HA14 ,  5F031JA22 ,  5F031JA45 ,  5F031MA27 ,  5F046BA05 ,  5F046CC01 ,  5F046CC10 ,  5F046CC14 ,  5F046DA07 ,  5F046DB04 ,  5F046DC12