特許

J-GLOBAL ID：200903015415588677

試料アライメント方法およびX線装置

発明者： 淡路 直樹
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-049376
公開番号（公開出願番号）：特開平7-260712
出願日： 1994年03月18日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：

【要約】【目的】 微少入射角X線装置に関し、入射X線と試料測定面の平行精度を0.005 ゚以下に保持することを目的とする。【構成】 試料表面にX線を微少な角度で入射させ、試料表面に存在する不純物元素の濃度や試料の結晶性を評価する装置の試料ステージが、X線の入射角制御機能と、試料平行調整用のあおり角φ1 制御機能と、それとは別方向のあおり角φ2 制御機能を少なくとも備えており、試料ステージの回転などにより試料表面の少なくとも3方向からX線を入射させてそれぞれのX線全反射臨界角ψC1,ψC2,ψC3・・を測定し、その値から、あおり角のずれΔφ1 ,Δφ2 と、正しいX線全反射臨界角ψC0を算出し、試料が入射X線に対して水平になるように補正することを特徴として試料アライメント方法およびX線装置を構成する。

請求項（抜粋）：

試料表面へのX線入射角ψ制御用回転および二つのあおりφ1 , φ2 調整用回転機能を有する装置を使用し、試料表面に平行で且つ異なる3方向以上でX線全反射臨界角ψC を測定し、試料表面とX線との平行からのずれΔφ1 , Δφ2 と臨界角の関係式から、Δφ1 とΔφ2 を算出し補正して試料表面とX線を平行にすることを特徴とする試料アライメント方法。