特許
J-GLOBAL ID：200903015423625190
感光性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-079192
公開番号（公開出願番号）：特開平7-271031
出願日： 1994年03月28日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：
【要約】【目的】 水現像時の膨潤が小さくて強度低下や寸法変化が少なく、優れた特性バランスを有する新規な水現像性感光性樹脂組成物を提供する。【構成】 感光性樹脂組成物は、(1)カルボキシル基含有ジエン系架橋重合体、(2)共役ジエン系重合体からなるソフトセグメントの一端または両端に、芳香族ビニル系重合体あるいは共役ジエン系重合体からなるハードセグメントが結合し、共役ジエン単位の水素添加率が80モル%以上である特定の水添ジエン系ブロック重合体、(3)光重合性不飽和単量体、(4)アミノ基含有化合物、並びに(5)光重合開始剤を含有することを特徴とする。成分(2)は、例えばS/B-B-Sで表される(但し、B:ビニル結合含量30〜90モル%の水添ポリブタジエンセグメント、S/B:スチレンを主体とする水添スチレン/ブタジエン共重合体セグメント、S:ポリスチレンセグメント)。
請求項（抜粋）：
(1)カルボキシル基含有ジエン系架橋重合体、(2)X、X1 、Y、Y1 、Z、Z1 、Z2 が下記に定義するセグメントであるとき、ブロック構造が次の式(i)、(ii)、(iii)、(iv) または(v) 、(i)X-Y1 もしくはX-Z;(ii) Y1 -X-Y;(iii)Y-X-Z1 ;(iv) Y-X1 -Z2 ;(v) Z1 -X-Z;で表される脂肪族共役ジエン系ブロック重合体中の脂肪族共役ジエンからなる繰返し単位の80モル%以上が水素添加された水添ジエン系ブロック重合体からなり、セグメントXあるいはセグメントX1 の水素添加物が該水添ジエン系ブロック重合体中の40〜95重量%を占め、結合芳香族ビニルの合計含有率が40重量%以下であり、かつ数平均分子量が5〜60万である水添ジエン系ブロック重合体、(3)光重合性不飽和単量体、(4)アミノ基含有化合物、並びに(5)光重合開始剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。記X ; 脂肪族共役ジエン重合体または結合芳香族ビニルの含有率が30重量%以下の脂肪族共役ジエン/芳香族ビニルランダム共重合体からなり、結合脂肪族共役ジエンのミクロ構造の1,2-ビニル結合含量が30〜90モル%であるセグメント;X1 : 結合芳香族ビニルの含有率が30重量%以下の脂肪族共役ジエン/芳香族ビニルランダム共重合体からなり、結合脂肪族共役ジエンのミクロ構造の1,2-ビニル結合が30〜90モル%であるセグメント;Y : 芳香族ビニル重合体または芳香族ビニルを45重量%以上含有する芳香族ビニル/脂肪族共役ジエン共重合体セグメント;Y1 : 芳香族ビニルを45重量%以上含有する芳香族ビニル/脂肪族共役ジエン共重合体セグメント;Z : 脂肪族共役ジエン重合体または結合芳香族ビニルの含有率が45重量%未満の脂肪族共役ジエン/芳香族ビニル共重合体からなり、結合脂肪族共役ジエンのミクロ構造の1,2-ビニル結合含量が20モル%以下であるセグメント;Z1 : 脂肪族共役ジエン重合体(但し、ポリブタジエンを除く。)または結合芳香族ビニルの含有率が45重量%未満の脂肪族共役ジエン/芳香族ビニル共重合体からなり、結合脂肪族共役ジエンのミクロ構造の1,2-ビニル結合含量が20モル%以下であるセグメント;Z2 : 結合ブタジエンのミクロ構造の1,2-ビニル結合含量が20モル%以下であるポリブタジエンセグメント;
IPC (11件)：
G03F 7/033
, C09D 11/00 PTE
, C09J113/00 JDM
, G03F 7/00 502
, G03F 7/004 503
, G03F 7/027 502
, G03F 7/028
, G03F 7/031
, H01L 21/30
, H01L 21/027
, C08F290/00 MRN
