特許

J-GLOBAL ID：200903015428175401

湿度センサ素子

発明者： 小野 敬 ,  国元 晃
出願人/特許権者： 株式会社リケン
代理人 (1件)： 高石 橘馬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-225161
公開番号（公開出願番号）：特開平7-055746
出願日： 1993年08月18日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：

【要約】【目的】 消費電力が小さく、生産性に優れるとともに、短絡の生じにくい湿度センサ素子を提供する。【構成】 電気的絶縁性の高い基板上1に、第一の薄膜状電極2と、薄膜状感湿体3a、3bと、第二の薄膜状電極4とが順次積層された構造を有し、第一の薄膜状電極2及び第二の薄膜状電極4のリードアウト部21、41が基板1に接するように設けられ、第一の薄膜状電極2のリードアウト部21近傍では、薄膜状感湿体3a、3b及び第二の薄膜状電極4の辺縁部が順次段差を形成し、第二の薄膜状電極4のリードアウト部41近傍では、薄膜状感湿体3a、3bが第一の薄膜状電極2及び第二の薄膜状電極4に挟まれた状態で基板1に接触していることを特徴とする湿度センサ素子である。

請求項（抜粋）：

電気的絶縁性の高い基板上に、第一の薄膜状電極と、薄膜状感湿体と、第二の薄膜状電極とが順次積層された構造を有する湿度センサ素子において、前記第一の薄膜状電極及び前記第二の薄膜状電極のリードアウト部が前記基板に接するように設けられ、前記第一の薄膜状電極のリードアウト部近傍では、前記薄膜状感湿体及び前記第二の薄膜状電極の辺縁部が順次段差を形成し、前記第二の薄膜状電極のリードアウト部近傍では、前記薄膜状感湿体が前記第一の薄膜状電極及び前記第二の薄膜状電極に挟まれた状態で前記基板に接触していることを特徴とする湿度センサ素子。