特許
J-GLOBAL ID：200903015442552650
ウエハ飛び出し防止機構を有するキャリアエレベータ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-244961
公開番号（公開出願番号）：特開平10-092902
出願日： 1996年09月17日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：
【要約】【課題】 キャリア内に収容されたウエハの飛出しを効果的に防止することができるキャリアエレベータ装置を提供する。【解決手段】 キャリアエレベータ装置は、基準ベース9aと、基準ベース9aに対して垂直方向に移動可能に設けられたキャリア基準ベース10aと、キャリア基準ベース10aを垂直方向に移動させる駆動機構20と、キャリア基準ベースに回動自在に取付けられたキャリア支持体3と、キャリア支持体3を傾斜位置で保持する傾斜ストッパ6と、キャリア支持体を水平位置に保持する水平ストッパ7とを有している。まず、キャリア支持体3にキャリア1が載置され傾斜位置にセットされる。次に、キャリア基準ベース10aが上昇し、この上昇に伴い、キャリア支持体3は傾斜ストッパ6に支持されたまま回動し水平状態へと移行する。
請求項（抜粋）：
基準ベースと、前記基準ベースに対して垂直方向に移動可能に設けられたキャリア基準ベースと、前記基準ベースに設けられ、前記キャリア基準ベースを垂直方向に移動させる駆動機構と、前記キャリア基準ベースに回動自在に取付けられ、第1支持部と前記第1支持部に対して垂直方向に延びる第2支持部とを有し、少なくとも前記第1支持部が水平方向を向いた水平位置と前記第1支持部が垂直方向を向いた垂直位置との間を回動するキャリア支持体と、前記基準ベースに設けられ、前記キャリア基準ベースが下降位置にある場合、前記キャリア支持体を前記水平位置と垂直位置との間の傾斜位置で保持する傾斜ストッパ手段と、前記キャリア基準ベースが上昇して前記キャリア支持体が前記傾斜ストッパ手段から離れた場合、前記キャリア支持体を水平位置に保持する水平ストッパ手段と、を備えたことを特徴とするキャリアエレベータ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, B65G 49/07 C
