特許

J-GLOBAL ID：200903015442843034

光偏向器及びそれを用いた光学機器

発明者： 溝口 安志
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-211038
公開番号（公開出願番号）：特開2003-029191
出願日： 2001年07月11日
公開日（公表日）： 2003年01月29日
要約：

【要約】【課題】 従来の光偏向器はミラーの回転角を大きく設定できず、ミラーの駆動速度にも限界がある。【解決手段】 一対の柱状部の一端側をヒンジ部102で連結し、他端側の柱状部の間にアクチュエータ103を有する変換機構101を構成する。また、変換機構101のヒンジ部102の上方位置にミラー支持基板106、弾性支持部105、ミラー部104を有する可動ミラー部を配置し、この可動ミラー部は弾性支持部105が変換機構101のヒンジ部102による回転軸上に配置する。これにより、アクチュエータ103の伸縮運動を変換機構101によりヒンジ部102を回転軸とするミラー部104の回転運動に変換する。

請求項（抜粋）：

2本の柱状部の一端側が回転軸となるヒンジ部で連結され、他端側には伸縮運動を発生するアクチュエータが設けられた変換機構を含み、前記変換機構のヒンジ部の上方位置には、ミラー支持基板に対して両端部が弾性支持部で支持され、かつ、前記弾性支持部の回転軸を中心に揺動可能に支持されたミラー部を有する可動ミラー部が配置され、前記可動ミラー部は弾性支持部が前記ヒンジ部による回転軸上に配置されており、前記アクチュエータの伸縮運動を前記変換機構によりヒンジ部を回転軸とするミラー部の所定変位角の回転運動に変換することによって前記ミラー部に入射する入射光を偏向することを特徴とする光偏向器。

IPC (2件)：

G02B 26/10 104 ,  B41J 2/44

FI (2件)：

G02B 26/10 104 Z ,  B41J 3/00 D

Fターム (7件)：

2C362BA17 ,  2C362BA18 ,  2H045AB06 ,  2H045AB13 ,  2H045AB38 ,  2H045AB72 ,  2H045AB81