特許

J-GLOBAL ID：200903015450571019

クリーンルームへの吹出し風速調整装置

発明者： 河合 雅利 ,  大倉 雅広 ,  原 正誉 ,  五十嵐 貞二
出願人/特許権者： 東芝空調株式会社 ,  株式会社東芝
代理人 (1件)： 波多野 久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-021244
公開番号（公開出願番号）：特開平11-218353
出願日： 1998年02月02日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：

【要約】【課題】フィルタ前後の静圧差からファンフィルタユニットの吹出し風量、吹出し速度を精度よく、正確に自動調整することができるクリーンルームへの吹出し風速調整装置を提供する。【解決手段】クリーンルームへの吹出し風速調整装置はファンフィルタユニット30の吹出し速度、風量とフィルタ静圧との間に精度のよい関係式が成立することに着目したものである。建物の密閉室12内はファンフィルタユニット群13とグレーチング床14とにより天井チャンバ16とクリーンルーム17と床下チャンバ18とに区画され、ファンフィルタユニット群13は、送風ファン31とフィルタ32とを組み立てたファンフィルタユニット30を多数敷設して構成される。ファンフィルタユニット30にフィルタ前後の静圧差を検出する圧力検出手段35を設け、この圧力検出手段35を送風量制御手段40に接続し、この送風量制御手段40によりファンフィルタユニット30からの吹出し風量あるいは風速を自動調整してクリーンルーム17への吹出し風量を調整したものである。

請求項（抜粋）：

ファンフィルタユニット群とグレーチング床とを上下に間隔をおいて配置して密閉室内に天井チャンバとクリーンルームと床下チャンバとを区画する一方、上記ファンフィルタユニット群は送風ファンとこのファン下流側のフィルタとを組み立てたファンフィルタユニットを多数敷設して構成し、上記ファンフィルタユニットにフィルタ上流側と下流側との静圧差を検出する圧力検出手段を設け、この圧力検出手段からのフィルタ静圧差に応じて送風量を制御する送風量制御手段を設け、この送風量制御手段によりクリーンルームへの吹出し風量を調整したことを特徴とするクリーンルームへの吹出し風速調整装置。