信号電荷検出器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-247336
公開番号（公開出願番号）：特開平5-090564
出願日： 1991年09月26日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：

【要約】【目的】浮遊拡散層における検出容量を小さくすることができ、信号検出感度の向上をはかり得る信号電荷検出器を提供すること。【構成】 CCDチャネル9の出力端とリセットドレイン13との間に設けられた浮遊拡散層12と、この浮遊拡散層12に配線6を介して接続された出力トランジスタとを具備し、浮遊拡散層12に一時的に蓄積された信号電荷を検出する信号電荷検出器において、浮遊拡散層12を配線6とのコンタクト部8にセルフアラインで形成し、且つ浮遊拡散層12の周囲の電位を固定するための電位固定用電極4を設けたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

信号電荷転送部の出力端と信号電荷排出用のリセットドレインとの間に設けられた浮遊拡散層と、この浮遊拡散層に配線を介して接続された出力トランジスタとを具備し、浮遊拡散層に一時的に蓄積された信号電荷を検出するフローティングディフュージョン型の信号電荷検出器において、前記浮遊拡散層を前記配線とのコンタクト部にセルフアラインで形成し、且つ該浮遊拡散層の周囲の電位を固定するための電位固定用電極を設けてなることを特徴とする信号電荷検出器。

IPC (3件)：

H01L 27/148 , H01L 21/339 , H01L 29/796

FI (2件)：

H01L 27/14 B , H01L 29/76 301 C

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