特許
J-GLOBAL ID：200903015467471115
熱処理装置及び熱処理方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
浅井 章弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-026084
公開番号（公開出願番号）：特開平7-221088
出願日： 1994年01月28日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：
【要約】【目的】 減圧且つ高温下にて安定してウエット酸化処理を行うことができる熱処理装置を提供する。【構成】 処理炉26内を減圧手段50により減圧下に維持しておく。純水貯留部98から供給した純水をマイクロ波式水蒸気発生部64にてマイクロ波のエネルギにより加熱沸騰させて水蒸気を発生させる。発生した水蒸気を、水蒸気供給管路66を介して上記高温減圧下の処理炉内へ導入して被処理体Wと接触させ、これをウエット酸化させる。これにより、酸化膜の膜質を向上させる。
請求項（抜粋）：
被処理体を高温下で酸化処理する処理炉と、この処理炉内を減圧する減圧手段と、純水をマイクロ波により加熱して水蒸気を発生させるマイクロ波式水蒸気発生部と、この水蒸気発生部へ供給するための純水を貯留する純水貯留部と、前記水蒸気発生部にて発生した前記水蒸気を前記処理炉へ供給する水蒸気供給管路とを備えるように構成したことを特徴とする熱処理装置。
IPC (2件)：
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