特許
J-GLOBAL ID：200903015469455907
排ガス処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木戸 一彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-276217
公開番号（公開出願番号）：特開平10-122539
出願日： 1996年10月18日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：
【要約】【課題】 燃焼式排ガス処理装置の運転を一時的に停止させる場合でも、継続して排ガスの除害処理を行うことができ、半導体製造装置等の運転を停止させる必要がなく、しかも、簡単な装置構成で実施することができる排ガス処理装置を提供する。【解決手段】 燃焼式排ガス処理装置Aに排ガスを導入する排ガス導入経路11に、燃焼式排ガス処理装置Aとは異なる除害筒Bのような除害処理手段を備えた分岐経路23を設けるとともに、前記燃焼式排ガス処理装置Aと前記分岐経路23の除害筒Bとへの排ガス経路を切換える切換弁24,25を設ける。
請求項（抜粋）：
排ガス中の有害成分を燃焼させて除害する燃焼式排ガス処理装置を備えた排ガス処理装置において、前記燃焼式排ガス処理装置に排ガスを導入する排ガス導入経路に分岐経路を設け、該分岐経路に前記燃焼式排ガス処理装置とは異なる除害処理手段を設けるとともに、前記燃焼式排ガス処理装置と前記分岐経路の除害処理手段とへの排ガス経路を切換える切換弁を設けたことを特徴とする排ガス処理装置。
引用特許：
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