特許
J-GLOBAL ID：200903015471779744
光伝送装置用部品
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 恒徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-211824
公開番号（公開出願番号）：特開平9-061664
出願日： 1995年08月21日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：
【要約】【課題】製作時間の短縮、生産性の向上を図った、光導波路上に光学部品を固定した光伝送装置用部品を提供する。【解決手段】一の面に形成された光導波路と該光導波路と垂直方向に形成された溝を有するSi基板と、異方性エッチングにより形成され、高アスペクト比の溝が形成されたSiのフタ部と、Si基板の溝と高アスペクト比の溝に挿入された薄板状の光学部品を有し、Si基板とフタ部とが一体に実装されて構成される。
請求項（抜粋）：
一の面に形成された光導波路と該光導波路と垂直方向に形成された溝を有するSi基板と、異方性エッチングにより形成され、高アスペクト比の溝が形成されたSiのフタ部と、該Si基板の溝と該高アスペクト比の溝に挿入された薄板状の光学部品を有し、該Si基板とフタ部とが一体に実装されて構成される光伝送装置用部品。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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