特許
J-GLOBAL ID:200903015473229628

ボール搭載装置及びボール搭載方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 野河 信太郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-330950
公開番号(公開出願番号):特開2004-165492
出願日: 2002年11月14日
公開日(公表日): 2004年06月10日
要約:
【課題】複数の種類のボールをワークに一括搭載できるボール搭載装置、及びボール搭載方法を提供することにある。【解決手段】複数個のボール6a、6bを収納するボール容器5a、5bと、ボール容器5a、5b内のボールを真空吸着可能な複数の吸着孔15を有するボール配列部材3と、ボール配列部材3における特定位置でのボール6aの吸着を阻止すべく吸着孔15を覆うマスク部材4とを備える。マスク部材4は、その周縁がボール容器5aの開口端に取付けられ、かつボール配列部材3におけるボール6aの吸着を阻止する吸着孔15に対応する領域に、ボール容器5a側と吸着孔15側との間を通気させる通気部を有する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
複数個の導電性ボールを収納し、かつ導電性ボールを取出し可能な取出し開口部を有する少なくとも1個のボール容器と、ボール容器内のボールを所定の配列で真空吸着可能な複数の吸着孔を有するボール配列部材を備えた吸引手段と、ボール配列部材の複数の吸着孔の内の特定位置の吸着孔へのボールの吸着を阻止すべく吸着孔を閉鎖可能なマスク部材と、吸着孔にボールを吸着させた状態でボール配列部材をワーク上に相対移動させる相対移動手段とを備え、ボール配列部材の真空吸着を解除してボールを開放落下させてワーク上の電極に搭載させるボール搭載装置であって、 前記マスク部材は、その周縁がボール容器のボール取出し開口部の開口端に取付けられ、かつボール配列部材におけるボールの吸着を阻止すべき吸着孔に対応する領域に、吸着孔側と、ボール容器側又はボール容器外部の大気側との間を通気させる通気部を有することを特徴とするボール搭載装置。
IPC (2件):
H01L21/60 ,  H05K3/34
FI (4件):
H01L21/92 604H ,  H01L21/60 311Q ,  H05K3/34 505A ,  H01L21/92 604F
Fターム (11件):
5E319AA03 ,  5E319AB05 ,  5E319AC01 ,  5E319BB04 ,  5E319CC22 ,  5E319CD04 ,  5E319CD26 ,  5E319GG15 ,  5F044KK19 ,  5F044LL01 ,  5F044QQ04

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