特許
J-GLOBAL ID：200903015474321277
光導波路の作製方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
光石 俊郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-144806
公開番号（公開出願番号）：特開平10-332970
出願日： 1997年06月03日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：
【要約】【課題】 基板上に形成された埋め込み型の石英ガラス系導波路において、基板と垂直方向の寸法制御を可能とし、スポットサイズの著しく異なるデバイスとの結合を容易とすることにある。【解決手段】 基板1上に形成された石英ガラスを主成分とする光導波路1の端面近傍で、前記光導波路1のコアの厚さが前記光導波路1の光軸に沿って変化する光導波路1の作製方法において、前記光導波路1の端面近傍を腐食性溶液に浸漬し、前記腐食性溶液への浸漬時間を変化させてエッチングされる光導波路1のコアの量を光軸方向に変化させることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
基板上に形成された石英ガラスを主成分とする光導波路の端面近傍で、前記光導波路のコアの厚さが前記光導波路の光軸に沿って変化する光導波路の作製方法において、前記光導波路端面近傍を腐食性溶液に浸漬し、前記腐食性溶液への浸漬時間を変化させてエッチングされる光導波路コアの量を光軸方向に変化させることを特徴とする光導波路の作製方法。
引用特許：
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