特許
J-GLOBAL ID：200903015475669226
FOUPオープナ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 元廣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-262337
公開番号（公開出願番号）：特開2002-076093
出願日： 2000年08月31日
公開日（公表日）： 2002年03月15日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 第2制御空間の陽圧を維持しつつ、外部雰囲気をFOUPドア周辺から排除して、FOUPドア開放時、FOUP内に外部雰囲気が流入しないようにし、ウェハにダメージを与えない信頼性の高いFOUPオープナを提供する。【解決手段】 FOUPオープナ1はFOUP10を載置して位置決めするドックプレート31と、ドックプレート31をFOUPドア13が着脱される位置近傍まで移動させるドック移動機構30と、FOUPドア13を着脱する着脱機構とFOUPドア13を保持する保持機構とを有するポートドア23と、ポートドア23を水平に移動させるポートドア進退機構40と、ポートドア23により閉塞される開口部22を有するポートプレート21とからなり、FOUPドア13がポートドア23の係合面に衝突するようにされ、衝突したFOUPドア13とポートドア23とを所定の位置まで追従して移動させることができる追従移動手段とが設けられている。
請求項（抜粋）：
FOUPオープナが、少なくとも、半導体ウェハを所定の間隔で、水平に、複数枚収納したFOUPと、前記FOUPを載置して位置決めするドックプレートと、前記ドックプレートを、FOUPドアが着脱される位置の近傍まで移動させるドック移動機構と、前記FOUPドアを着脱する着脱機構と前記FOUPドアを保持する保持機構とを有するポートドアと、前記ポートドアを水平に移動させるポートドア進退機構と、前記FOUPドアを格納するために、前記ポートドアが前記FOUPドアを保持した状態で、前記ポートドアを垂直に移動させるポートドア昇降機構と、前記ポートドアにより閉塞される開口部を有するポートプレートとからなり、前記ポートドアの前記FOUPドアとの係合面が、前記ポートプレートの開口部を貫通して突出させられ、前記ドック移動機構の作動に伴い、前記FOUPが前進して、前記FOUPドアが前記ポートドアの係合面に衝突するようにされ、衝突した前記FOUPドアと前記ポートドアとを所定の位置まで追従して移動させることができる追従移動手段が設けられたことを特徴とするFOUPオープナ。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 49/00
, B65G 49/07
H01L 21/68 A
, B65G 49/00 C
, B65G 49/07 L
5F031CA02
, 5F031DA01
, 5F031EA12
, 5F031EA14
, 5F031FA01
, 5F031FA11
, 5F031NA02
, 5F031NA05
, 5F031NA10
, 5F031PA26
